
科技日報記者 陳曦
“可以交付了?!碧旖蛉A信泰科技有限公司(以下簡稱“華信泰”)總經理劉瑞元緊盯著檢測屏幕上那條平穩的壓強曲線,長舒一口氣。
幾天后,這批全球體積最小的芯片原子鐘將奔赴深海,為海底石油勘探等領域提供精準的“時間心跳”。這枚體積為8立方厘米、功耗僅0.15瓦的“時間魔盒”,能在無衛星信號時自主守時,萬年誤差不到1秒。
芯片原子鐘是高精度時頻領域的核心器件,曾長期依賴國外進口。華信泰歷經13年潛心攻關,成功研制出高精度、低功耗、實用化、可量產的芯片級原子鐘。2023年,國內首條也是唯一一條芯片原子鐘產線在天津投產,使中國成為全球第二個掌握該技術的國家。
如今,這一高精度計時裝備,正成為導航、航天、通信、電力等戰略領域的“心臟”。
煉“芯”:讓原子鐘“活”起來
“最初我們設想得特別樂觀,覺得原理都是現成的,按圖索驥就能造出來?!眲⑷鹪蚩萍既請笥浾呋貞浀???烧嬲邪l才發現,現實遠比理論骨感。
作為目前世界上最精準的計時工具,原子鐘的精度遠超頂尖石英手表。這種精準源于原子內部電子穩定的能級躍遷,使其成為時間測量的天然“節拍器”。
劉瑞元介紹,芯片原子鐘用激光鎖定原子躍遷頻率,并將光學元件集成在微型晶片上,體積小、能耗低,突破了傳統原子鐘的應用局限。
“原理是公開的,但工藝參數全是‘黑箱’。”華信泰董事長梁小芃坦言,芯片原子鐘融合了微系統與量子物理,橫跨多個學科,研發難度極大。
團隊前期充分調研、查閱大量文獻,自認萬事俱備。可第一臺原理樣機問世后,檢測結果令人失望:無法觀測到鎖定頻率所需的微弱光學信號。他們造出的只是一臺“死鐘”。
短暫沮喪后,團隊從頭復盤、反復實驗數十次,最終找到癥結:鎖定躍遷的光學信號極弱,僅為激光強度的千分之幾,極易被環境噪聲淹沒。溫度稍有波動,信號便會徹底消失。
為此,團隊聯合攻關,自主研發微流控溫控芯片,通過精準的流體控溫與電路調節,將溫控精度從0.1℃提升至0.001℃量級,終于讓隱藏在噪聲中的光學信號“冒”了出來。
溫度問題解決了,信號卻時有時無,極不穩定。科研團隊于是將突破口轉向原子氣室這一“心臟”部件——氣室內緩沖氣體的種類與配比直接決定信號成敗。經過大量實驗摸索,歷經4年、數百次試驗,穩定信號終于出現在屏幕上,團隊沸騰了:原子鐘“活”了。
封“芯”:四年突破真空封裝
原理樣機的成功只是入場券,工程化才是真正的“煉丹爐”。只有實現工程化,才能將實驗室里的可能,打磨成穩定可靠、可交付的產品。
“芯片原子鐘設計的工作環境是-40℃到70℃。如果外部溫度高達70℃,內部就要消耗大量能量來維持穩定,一旦溫度控制不好,守時精度就會大打折扣?!眲⑷鹪忉尅?/p>
而攻克這一難題的核心,正是真空封裝。
芯片原子鐘的所有物理器件,都要集成并真空密封在1立方厘米的陶瓷腔體內,對真空度的要求近乎苛刻,漏率必須優于10-9帕斯卡·立方米/秒(Pa·m3/s)。只有達到這一精度,腔體才能在10年內維持穩定真空,支撐原子鐘的設計壽命和性能;若漏率差一個數量級,鐘的功耗就會翻倍,嚴重縮短使用壽命。
最初,團隊使用現成的焊接爐整體加熱焊接,結果腔體內的氣體還未抽凈就被封死,真空度始終不達標。
“一臺芯片原子鐘成本不低,一周只能做出一兩臺,絕大多數還以報廢告終,團隊壓力可想而知?!眲⑷鹪钢鴰旆恳唤嵌训孟裥∩礁叩男酒隅姟笆w”一臉無奈地說。
“每次開例會,從他們臉上就能看出結果?!绷盒∑M說,“如果成功了,推門進來的每個人臉上都藏不住笑意;如果失敗了,一個個恨不得把頭縮到脖子里。”
半年過去,漏率依然不能穩定達標。團隊果斷放棄現成設備,與廠家聯合定制開發帶運動機構的真空焊接爐,采用新的封裝思路,但新思路也意味著必須攻克高溫下精密對準、控溫防焊料飛濺、優化加熱曲線三大難關。
為此,研發團隊一頭扎進了公司位于北京大興的一處空廠房。夏天室內超過40℃,風扇吹出的全是熱風;冬天零下十幾攝氏度,手凍得擰不動螺絲。一臺產品焊接需連續值守20多小時,團隊便搭起帳篷輪班守爐,緊盯各項參數曲線反復調試。
2020年7月的一個晚上,梁小芃接到劉瑞元的電話。電話那頭傳來兩個字:“成了?!?/p>
那一刻,劉瑞元如釋重負:“4年,值了?!?/p>
造“芯”:批量替代手工生產
工程化的成功讓芯片原子鐘具備交付能力,但手工生產效率遠遠難以滿足國家重大工程需求。10名技術人員在顯微鏡下用鑷子手工疊片、焊接、封裝,滿負荷工作一年也僅能生產兩三百臺。
“芯片原子鐘的一大優勢就是可以批量化生產,這是傳統原子鐘做不到的?!绷盒∑M說,海洋石油勘探、衛星導航等領域動輒需要數千上萬臺,靠手工完全不行,必須建生產線。
國內無任何量產線參考經驗,設備、工藝、流程全需自主設計?!拔锢聿糠肿钚〉钠骷挥?.2毫米,約兩根頭發絲粗細,手工鑷子力度稍大就會崩飛?!眲⑷鹪榻B,機器生產需專門的抓取、定位、視覺識別系統,精度要達微米級。
“我們找了好幾家做自動化設備的廠家,他們一看工藝要求都搖頭?!眲⑷鹪貞洝?/p>
更棘手的是,手工工藝無法適配量產線,材料、流程需推倒重來。“以懸臂梁器件為例,機器自動化生產對薄膜厚度、圖形尺寸的控制要求與手工工藝完全不同,參數稍有偏差,懸臂梁的抗震性能就會急劇下降,輕微震動就可能導致器件開裂?!眲⑷鹪f。
為此,他們與中國科學院物理研究所協同攻關,借助其半導體加工設備與微納工藝能力,經過反復試驗與迭代,鎖定了各項工藝參數的最優解。
團隊通過不斷優化設備、調試參數、適配工藝,最終將產線良品率提升至98%以上。2023年夏,我國首條年產3萬臺芯片原子鐘量產線在天津濱海高新區投產,徹底解決了國內各領域對該器件的迫切需求。
“一個器件帶動了一個行業。”梁小芃自豪地說,芯片原子鐘讓海底勘探轉向更精準的節點式,其應用已延伸到商業衛星、智能電網等多個領域。
此次即將交付中國石化的產品,體積縮小到不足一個火柴盒?!鞍阉鲂∫涣⒎嚼迕?,難度就增加10倍。此次交付,證明我們能研發不同系列產品?!眲⑷鹪f。
“下一步,我們將擴大產能,建設年產10萬臺乃至百萬臺生產線,同時與中國科學院長春光學精密機械與物理研究所、哈爾濱工業大學、天津大學等科研力量合作,緊扣趨勢進行科研攻關,推出更先進產品,力爭國際領先?!绷盒∑M說。
這枚小小“芯鐘”,標記著中國制造向中國創造的跨越。“嘀嗒”聲里,是時間的流轉,更是創新的心跳。

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